绝缘体上硅 - 《中国大百科全书》第三版网络版

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绝缘体上硅

/silicon on insulator; SOI/

最后更新 2023-08-30

浏览 42次

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由顶层硅（Si）、二氧化硅（SiO₂）绝缘层、硅衬底组成的三明治结构的半导体材料。是一种用于大规模集成电路制造的先进半导体衬底材料。又称绝缘体上硅。

英文名称: silicon on insulator; SOI

又称: 绝缘体上硅

所属学科: 电子科学与技术

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