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绝缘层上锗

/germanium on insulator/
最后更新 2022-12-23
浏览 38
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由顶层锗(Ge)、二氧化硅(SiO2)绝缘层、硅衬底组成的三明治结构的半导体材料。是一种用于制备高性能器件的半导体衬底材料。

英文名称
germanium on insulator
所属学科
电子科学与技术

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