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微电子机械系统
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物理学
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电子科学与技术
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[{"ID":42422,"Name":"理学"},{"ID":61859,"Name":"物理学"},{"ID":61967,"Name":"凝聚态物理学"},{"ID":105138,"Name":"半导体物理学"},{"ID":105141,"Name":"〔半导体器件〕"}]
微电子机械系统
/micro-electro-mechanical system; MEMS/
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2022-12-23
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集成了微机构、微传感器、微执行器及信号处理控制等功能于一体的系统。
英文名称
micro-electro-mechanical system; MEMS
所属学科
物理学
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