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微电子机械系统

/micro-electro-mechanical system; MEMS/
最后更新 2022-12-23
浏览 76
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集成了微机构、微传感器、微执行器及信号处理控制等功能于一体的系统。

英文名称
micro-electro-mechanical system; MEMS
所属学科
物理学

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